복잡한 노광 공정 없이 금형을 찍듯이 나노급 패턴을 찍어내는 나노임프린트 기술이 다양하게 활용되고 있다. 나노임프린트 기술은 당초 반도체 회로 패턴을 미세화하기 위한 대안 기술로 등장했지만 LCD 광학필름 등에서 적용되기 시작했다. 최근엔 연료전지나 LED 등의 분야 등으로도 적용 영역이 넓어졌다. 15일 관련 업계에 따르면 일본 NTT의 자회사 NTT AT는 나노임프린트 기술을 이용해 연료전지의 핵심 소재로 전해질막과 전극을 이어주는 멤브레인을 개발하고 있다. 규칙적 패턴을 형성하는데 적합한 나노임프린트 기술을 응용, 나노 크기의 연료전지를 구현하려는 시도다. 나노 기술을 적용하면 반응면적이 커져 표면반응을 활성화할 수 있어 연료전지 성능 향상에도 기여할 전망이다. LED 분야서도 나노임프린트 기술이 쓰이기 시작했다. 스웨덴 오브듀캣은 최근 포토닉 크리스털을 이용한 LED 제조를 추진 중인 대만 럭스탈텍에 1260만달러 규모의 나노임프린트 장비 공급 계약을 맺었다. 나노임프린트 장비가 LED 업체에 대량 공급되는 것은 이번이 처음이다. 포토닉 크리스탈 LED는 구멍이 배열된 구조를 가져 발광 효율이 높다. 나노임프린트는 이 구조 형성에 적합하다는 평가다. 국내에서도 디스플레이 분야를 중심으로 나노임프린트 기술의 활용 방안을 찾고 있다. 국내 나노임프린트 장비 업체 NND는 디스플레이 기업과 공동으로 나노임프린트 상용화 장비를 개발 중이다. 테크노세미켐의 자회사 미뉴타텍은 나노임프린트용 몰딩 소재 등을 개발하고 있다. 또 OLED와 유기 태양전지 분야, 차세대 소형 저장매체, 바이오 소자 등에 대한 연구도 관련 기업과 연구소들에서 이뤄졌다. 배종서 NDD 사장은 “국내에선 LCD 분야를 제외하곤 나노임프린트 수요가 아직 연구기관 중심이지만 미세 패턴을 저렴하게 찍어낼 수 있는 장점을 살린 다양한 시도들이 업계서도 나올 것”이라고 말했다. 한세희기자 hahn@ ※나노임프린트란=아주 작은 ‘금형’을 제작, 노광 과정 없이 나노급 소자의 미세 패턴을 찍어내는 기술. 일대일 근접 마스크를 통해 극자외선에 노출되면 굳어지는 중합체를 이용해 패턴을 형성하는 원리다. 노광 공정에 비해 공정이 단순하고 비용이 저렴하다.
한세희 hahn@etnews.co.kr

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